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OGP测量仪CNC 500的部分技术指标如下:
测量范围(XYZ):500x 450x 200 mm
测量系统尺寸(LWH):114 x 120 x 153 cm,960kg
Y轴延伸到610mm
Z轴延伸到300mm
Z轴延伸到400mm
XYZ光栅尺分辨率:0.5 μm
XYZ光栅尺分辨率:0.1μm
马达驱动:直流伺服马达
测量软件:OGP Measure-X测量软件
XY平面精度:E2=(2.5+5L/1000)μm
Z轴线性精度:E1=(2.8+8L/1000)μm
Z轴线性精度:E1=(2.0+8L/1000)μm (选用DRS-300或DRS-500激光、TP-20或者TP-200探针)