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氩气回收设备 氩气回收装置

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苏州穆尔气体设备有限公司
共 10 款在售产品
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产品简介:

处理气量:(1-1000)Nm3/h
压力:
≤1.0Mpa
氩气纯度:≥99.999%
 
露点:≤-70℃

纯氩含氧量:≤1.5ppm

广泛应用于:

光纤,单晶硅,多晶硅行业等氩气的回收及纯化。

 

单晶硅行业氩气回收(氩气回收率≥95%)

根据单晶炉工作运行的工序,真空泵抽出的回收氩气由阀进入到氩气回收设备。回收气首先经过鼓风机进入到进气储罐,然后再进入到预处理设备,除去里面的油份和杂质。然后进入以下氩气纯化设备单元,根据各个工艺将里面的杂质一一去除,然后使得回收气气体纯度达到所需要求,进一步循环利用。

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产品属性
加工定制
是
品牌
穆尔气体
型号
MHYa
材质
不锈钢
装机容量
0-100
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