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RTP HR系列快速退火炉 1200℃
快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在吸收了国际先进生产
制造工艺的基础上自主研发了该款产品，拥有独立的发明专利。该设备不但拥有极快的升温速率
500℃/S，而且在烧结工艺运行完结，直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的 快降温。我们
的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的极速升降温！腔
体采用了独有进气结构，内管进气，外管出气，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD
法生长大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触，保证试样温度的精准性。
应用领域 Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火 Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长 Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN); Ø 硅化 (Silicidation); Ø 扩散 (Diffusion); Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing); Ø 电极合金化 (Contact Alloying); Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification); | 主要特点 Ø 极速升温500℃/S，极速降温100℃/S； Ø 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀； Ø 直接测量样品表面温度，测温更精准； Ø 炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用； Ø 丰富的扩展接口，能够满足各类试验的需 求； |
型 号 | 高 温度 | 升温速率 ℃/S | 管 径 | 处理晶片 | 加热区 | 恒温区±2℃ | 外形尺寸mm | 功率 | 重 量 | ||
(内)mm | 尺寸 in | 长度mm | 长度mm | 长 | 高 | 深 | Kg(约） | ||||
NBD-HR1200-110IT | 1200℃ | 100 | 103 | ≤3″ | 200 | 120 | 800 | 540 | 750 | AC380V15kw | 40 |
* 更多型号，欢迎来电垂询 | |||||||||||
