目前检测机床精度主流仪器是SJ6000激光干涉仪+WR50自动精密转台+MT21无线球杆仪。

SJ6000激光干涉仪

WR50自动精密转台

MT21无线球杆仪

SJ6000激光干涉仪搭配不同的镜组可以实现机床定位精度、重复定位精度、直线度、平行度、垂直度、偏摆角度等几何精度测量。

SJ6000激光干涉仪测量机床定位精度

SJ6000激光干涉仪测量机床垂直度

SJ6000激光干涉仪测量机床偏摆角度

SJ6000激光干涉仪测量机床直线度

WR50自动精密转台搭配SJ6000激光干涉仪可以实现机床回转轴自动测量。

WR50自动精密转台测量机床回转轴精度

MT21无线球杆仪是评价机床动态轮廓精度的精密仪器。其工作原理是将球杆仪的两端分别安装在机床的主轴与工作台上，测量两轴插补运动形成的圆形轨迹，并将这一轨迹与标准圆形轨迹进行比较，从而评价机床产生误差的种类和幅值。

MT21无线球杆仪评定机床