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SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、zui高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

SJ6000激光干涉仪应用非常广泛。
1.数控机床精度校准

2.激光切割机精度校准

3.自动化设备精度测量

4.三坐标校准
