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ESC静电卡盘 静电吸盘 E-Chuck

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中山市思考电子科技有限公司
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ESC静电卡盘

静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护;静电吸附单元电极采用高频导体,表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜,另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜,在保证输出稳定,同时避免高压静电压尖锐击穿。静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护;静电吸附单元电极采用高频导体,表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜,另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜,在保证输出稳定,同时避免高压静电压尖锐击穿。


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加工定制
是
种类
元素半导体
特性
半导体
用途
用于晶圆蚀刻
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