台湾龙翩机1 200配置

机械泵：英国爱德华275

罗茨泵：英国爱德华2600

电子日 本：PL ASMATECH1 0KW

POLYCOLD： 美国POLYCOLD

离子源：美国KR|考夫曼离子源

加热系统：下加热灯管加热

气体流量：三路美国布鲁克斯流量计

晶控膜厚仪：美国英福康SQM-1 60

全自动一键操作系统，每炉产品参数带记忆储存功能

台湾龙翩机1400配置：

机械泵：美国凯尼真空泵

罗茨泵：德国普 发罗茨泵2000A

电子日 本：PL ASMATECH1 0KW

POLYCOLD： 美国POLYCOLD

离子源：美国KR|考夫曼离子源

加热系统：上烘烤电加热丝

气体流量：三路美国布鲁克斯流量计

晶控膜厚仪：美国英福康SQM-1 60

全自动一键操作系统，每炉产品参数带记忆储存功能

韩国2050光学机配置

机械泵：英国爱德华275

罗茨泵：英国爱德华EH2600

扩散泵：韩国双800

膜厚仪：美国英福康IC-5

电子日本：原装JEOL双(目 前单)

离子源：韩国霍尔源

深冷：韩国