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缝隙式排水沟模具 预制卵形水沟模具 方达 下水沟模具结实 当导流板固定在槽体内时，此遮蔽部优选为位于排水孔的正上方,导流板的分流孔可将槽体内往排水孔的冲洗流体先行予以分流，排水渠模具且大部分的排水孔也被分流板的遮蔽部所遮住。如此一来，可将排水的大喷流流场转变成数个小喷流流场，而使快速排水清洗槽内的流场更为均匀。因此，不仅可有效消除晶圆粘贴效应，改善晶圆振动现象，更可使排水更为顺畅，进而提升排水速度。
可加增加排水速度,提出一种快速排水渠模具，可用以清洗晶圆，此快速排水清洗槽至少包括槽体，其中此槽体包括一个排水孔位于槽体的底部；以及一个使槽体的排出喷流场转变成均匀流场的导流板，固定在排水孔上方的槽体上。依照本实用新型一优选实施例，上述的导流板至少包括一个分流板。
缝隙式排水沟模具 预制卵形水沟模具 方达 下水沟模具结实
