工作区组成

1：微波激发区本。工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有效作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能， 的提高等离子体区，极板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼。

2：低温等离子体激发。本工艺有40支至240支充有特殊气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的核心技术， 诸多科研机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍大，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体， 大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有能量平衡性，在粒子撞击中失能少，所以低温等离子体作为原子激发是 理想的一种能。