中图仪器深圳精密测量激光干涉仪品牌，是一家致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售的企业。其推出的SJ6000精密激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪，具体来说就是双频激光干涉仪。

SJ6000精密激光干涉仪克服了单频激光干涉仪直流光平和电平零点漂移的弊端，可进行动态高速测量，配以相应元件后还可以测量角度、线速度、平面度、振动幅度及速度等。它还可以弃普通车间进行应用，环境适应能力强。这主要是得益于它使用的干涉信号是一个频率为几兆赫的交流信号，当可动反射镜移动时，干涉信号根据多普勒效应原理，原有的交流信号频率增加或减少了A/，结果依然是一个交流信号。这样，即使光强大幅度衰减，G可得到合适的电信号。

产品参数

稳频方式：双频激光热稳频

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

产品配置

SJ6000精密激光干涉仪采用的激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率。因为其具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在制造领域应用广泛。

性能特点

1）轻松实现运动导轨的快速高精度测量，以及反向间隙修正和螺距补偿；

2）可实现位移、速度、加速度以及振幅频率的动态测量与分析；

3）内置国内外机床通用标准。

具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件，实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

测量机床回转轴精度

测量机床直线度

测量机床定位精度

SJ6000精密激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。