测量范围 毫米（英寸）

1050×1650×160mm

（41.3×65.0×6.3）

仪器外观尺寸 毫米

1720×2600×1650mm

净重

3450kg （7590lbs）

光删尺分辨率

0.1μm

X,Y轴精度

3.3+L／200

Z轴精度

2.8+L／100

镜头倍率（光学，数位）

36x（12x，3x）

轮廓光，同轴光，表面光

红光LED技术（黑白机种使用）

白光LED技术（彩色机种使用）

放大倍数

15x -540x to 30x -1080x

计算机规格

Intel CPU Core 2.0GBHz,1GB RAM,160GB HD,DVD     Combo

输入电压

93-264 VAC

输入电流

47-63 Hz

操作环境温度

20℃±2.0℃

静置环境温度

-25℃~60℃

适当的温度

30%-80%

仪器噪音值

<70db(a)