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缓冲罐的作用是缓冲压力，防止倒灌，还可用于气液分离以达到稳定真空度（否则真空度达不到要求）的目的。
缓冲罐的容积，其计算办法基于如下考虑：当前级泵停止工作时，而真空泵仍处于正常工作状态，这时真空泵将气体排到储气罐中。此时气体来源是真空泵入口上的高真空阀门]到真空泵出口的前级管道阀之区间的漏气流量和这一区间的表面放气流量，这些气流量引起真空泵出口压强增高，但不能超过真空泵的 排气压强。
