高真空磁控溅射仪可喷镁，铝，金银铂 型号:KM1-SD-650MH库号：M403191   

参数：

仪器主机尺寸: 长 610mm×宽 420mm×高 220mm注：含腔体总高 490mm

工作腔室尺寸： 标配：玻璃腔体高度可选：直径 260mm×高 200mm外尺寸

直径 240mm×高 200mm内尺寸

选配：腔体：直径 260mm×高 270mm外尺寸 

直径 210mm×高 270mm内尺寸

靶头： 标配：单靶

选配：双靶双靶仪器主机尺寸和工作腔体尺寸会随之

靶材尺寸： 直径 50mm×厚 3mm因靶材材不同厚度有所不同

靶材料： 标配一块直径 50mm×3mm 的铜靶可选配多种靶材

靶冷却方式： 水冷

真空系统： 抗冲击涡轮分子泵，抽速为 300L/s

前机械泵： 抽速为 4L/s，带防返油电磁阀及油污过滤器

真空测量： 采用复合真空计监测真空

限真空度: 5×10

-5Pa10 分钟可到 9×10

-4Pa

电源： 标配：直流恒流电源：输入电压：220V

电压：0-600v

电流：0-1.6A