SJ6000激光干涉仪除了环境适应能力好，还可以进行动态高速测量，选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。

激光干涉仪测量机床直角

如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。

测量机床垂直度

典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。

SJ6000激光干涉仪量程精度

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m