溅射蒸碳仪 型号:S9AT/SD-900C库号：M402923   技术规格 参数 主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H） 副机 300mm×360mm×140mm（W×D×H） 真空规 皮拉尼真空计 溅射靶 二极直流溅射靶 （标配）磁控靶（选配） 靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H） 靶材 Au(纯度99.99%） 蒸发材料 碳纤维绳 样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃 溅射面积 Φ50mm 蒸碳面积 140mm 高真空度 ≤4×10-2mbar 溅射大电流 50mA （磁控靶100mA） 热蒸发大电流 100A 溅射定时器时间 0-360s 热蒸发时间 0-1s 微型真空气阀 可连接φ3mm软管 可通入气体 多种 溅射高电压 -1600DCV 热蒸发高电压 28V 电源 220V AC,50Hz接地三脚插头 机械泵 2L/S 重量 40Kg