等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

腔体采用不锈钢材料,保证系统材料的稳定性；

采用15.56Mhz射频电源,清洗更彻底；

支持自动手动模式，方便客户灵活操作；

智能自动模式：可以设置为2次清洗，2次进气,每次清洗时间,进气稳定时间都可以设定；

手动模式：手动模式下，系统可以启动定时功能，清洗时间到，系统自动停止工作；

气压稳定功能（选配）：根据需要可以配置输出比例阀控制气体的流速，均衡腔体内压力；

智能气路功能（选配）：根据需要，可以配置质量

流量计系统，可以设置不同的清洗段落配置不同气体的流速；

等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。