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真空高低温探针台 拉曼光谱成像 叉指电极测试 半导体芯片材料测试

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郑州科创实验仪器设备有限公司
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技术参数; 真空腔体 

型号 KT-0904T-RL 

高低温型 KT-0904T-R 高温型 类型 加热型 400℃ 加热制冷型室温到-190℃~400℃ 

腔体材质 304 不锈钢 腔体内尺寸 φ90x40mm

腔体上视窗尺寸 Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm) 

腔体抽气口 KF16 腔体进气口 公制 3mm 6mm 

气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选

 腔体出气口 公制 3mm 6mm 

气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选 

腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa (5 分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30 分钟) 样品台 样品台材质 304 不锈钢 样品台尺寸 26X26mm 样品台-视窗 距离 30mm(可选凹视窗间距 15mm) 样品台测温传感器 A 级 PT100 铂电阻 样品台温度 室温到 400℃(可选高低温样品台 高温 400℃低温-190℃) 样品台测温误差 ±0.2℃ 样品台变温速率 高温 10℃/min 低温 5℃/min 值 温控仪 温度显示 7 寸人机界面 温控类型 标准 PID 温控 +自整定(可选 30 段编程控温) 温度分辨率 0.1℃ 温控精度 ±0.5℃ 温度信号输入类型 PT100 热电阻 (可选 K S B 型热电偶) 温控输出 直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷) 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线

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