无尘拖链选型原则: 无尘拖链选型需要依据使用场景的空间限制、无尘等级要求、线缆和气管的直径以及数量、行程长度等参数来制定选型的方案。
晶圆检测设备需在高洁净环境中运行,其光学系统对微粒污染高度敏感。设备内部线缆/气管的动态传输若产生粉尘,将直接引发误判风险。广柔扁平线缆采用防静电与耐磨自润滑PTFE材料对线缆气管进行一体封装,既阻断微粒逸散,又避免摩擦碎屑,符合 ISO 14644-1标准,适配晶圆检测设备的精密运动模块。
无尘拖链具有耐磨、防油、防静电的特点,减少集尘,主要应用于对洁净度要求较高的无尘级车间或者洁净车间等。无尘拖链适用在往复运动的自动化设备,能够对内置的电缆、油管、气管、水管等起到牵引和保护作用。其中开口式无尘拖链,还能够非常简单的打开和拼接,便于安装与维修,运动时噪音低、耐磨、可高速运动。