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Nidek 晶片平坦度/翘曲度测量仪FT-17和FT-900(Si/Ge/GaAs/InP/SiC/LT/LN)
Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体（如蓝宝石晶片等）和LED外延晶片、芯片的检测。
其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测，而且更多地应用于对外延之后，外延层表面品质、TTV等的检测和评估。
在电脑显示屏上，它可自动生成三维立体的表面彩色效果图，以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。
此外，它也适用于液晶电视屏幕面板所需要的大而平的图形掩膜的检测。
Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体（如蓝宝石晶片等）和LED外延晶片、芯片的检测。
其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测，而且更多地应用于对外延之后，外延层表面品质、TTV等的检测和评估。
在电
测试项脑显示屏上，它可自动生成三维立体的表面彩色效果图，以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。
该产品目前已在国内大手厂商中广泛采用，特别是在外延片的品质检测方面。颇受好评。
据不完全统计，至2012年底该产品已被国内LED衬底和外延片80多家厂家所使用。
吸附：GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID
非吸附：BOW、SORI、整体应力、局部应力
可测试晶片种类
切割片、研磨片、抛光片、外延片、磊晶片
可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等
FT-17 Series | FT-900 Series | |||||
无解析 无显示 | 带解析 | 带解析 （V2规格） | 无解析 无显示 | 带解析 | 带解析 （V2规格） | |
测定方法 | 光波干涉方式（斜入射） | |||||
光源 | 半导体激光（655nm、3mW） | He-Ne激光（632.3A、5mW） | ||||
样本尺寸 | 直径130mm以下 （平坦度测定100mm以下） | 直径200mm以下 | ||||
样本厚度 | 2000um以下（根据测量承载台不同，大可达10mm），其他厚度需客户另行协商 | |||||
样本种类 | Wafer（Si、化合物、酸化物、玻璃）、金属片、硬盘（铝、玻璃）等镜面和非镜面（反射率低的非镜面不可测试） | |||||
样本倾斜角度 | 垂直方向倾斜8度 | 垂直或垂直方向倾斜8度 | ||||
干涉计设定敏感度 | 1、2、3、4、5u/纹理（下底面基准时只有1、2um/纹理，且厚度1mm以上时1um/纹理） | |||||
测定范围 | 纹理敏感度30倍（根据纹理状况以及测试镜头倍率关系，有时不能达到30倍） | |||||
摄影镜头倍率 | 3倍以上 | |||||
显示分解能 | 0.01um | 0.01um | ||||
重复精度 Repeatability:1б | 0.02S＋0.02M（um） 条件：样本设定后连续测试 S：纹理敏感度 M：测定值 | 0.02S＋0.02M（um） 条件：样本设定后连续测试 S：纹理敏感度 M：测定值 | ||||
