二手日本光弛OTFC-1300/1550真空电镀膜机（晶控，光控，17寸射频离子源，美国深冷）

1：特征

真空室尺寸：Φ600-1800mm60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源搭载双电子，多点和环型坩埚可镀100层以上利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程工件架可选择钟罩式或行星式排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵规格设备名称

2：规格

OTFC-1300CBI/DBI真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)工件架φ1130mm工件架转速10rpm to 50rpm(可变)光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪

波长范围：350nm to 1100nm

反射式/透射式水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器蒸发源电子2套离子源17cmRF离子源排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）

3：性能

达到压力7.0×10-5 Pa 以下排气时间15分（大气压～1.3×10-3 Pa)基板温度：350℃工作条件设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA水流量140升/分以上空气压力0.5MPa以上重量约8500kg